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超高阻尼空氣隔振器適用大型設(shè)備LCD光刻機(jī) 適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高力、高速XY電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平，可確保空氣隔振器的共振頻率不會(huì)超過(guò)3-5 dB。適用于LCD、PVC檢測(cè)、光刻機(jī)以及其他具有高力電動(dòng)工作臺(tái)的儀器。

TMC Stage-Base混合壓電電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng) TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專(zhuān)為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺(tái)的高級(jí)半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主要消振系統(tǒng)。

TMC LaserTable-Base混合壓電主動(dòng)隔振系統(tǒng) TMC的STACIS通過(guò)結(jié)合壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器的專(zhuān)有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會(huì)放大極低頻振動(dòng)。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個(gè)集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng)，這實(shí)現(xiàn)了低頻率消振和qian所wei有的高頻隔振水平。

TMC Hybrid Honeycomb面包板 許多超精密工具包括光學(xué)子組件。這種子組件必須安裝在剛性、平坦的阻尼表面上，以保持光學(xué)系統(tǒng)的位置穩(wěn)定性。直到現(xiàn)在，工程師都不得不在機(jī)加工鋁板和蜂窩光學(xué)面包板之間做出選擇。鋁板的優(yōu)點(diǎn)是可加工到精確的平整度、平行度以及孔位置的偏差較小。蜂窩面包板的優(yōu)點(diǎn)是可提供結(jié)構(gòu)阻尼以及更高的剛度重量比。

TMC 用剛性聯(lián)軸器拼接光學(xué)平臺(tái) CleanTop光學(xué)頂部可提供多個(gè)部分，最大尺寸為1.5米 x 4.8米（5英尺 x 16英尺）。 復(fù)雜的光束路徑通常需要更大的尺寸，這可通過(guò)連接頂部來(lái)實(shí)現(xiàn)。 為了達(dá)到理想的效果，聯(lián)軸器不得影響接頭的剛度、阻尼或平整度。

TMC CleanTop輕量級(jí)光學(xué)面包板 CleanTop®鋼光學(xué)面包板可為較小的頂部提供zhuo越的剛性和阻尼。這些頂部有2英寸和4英寸厚度，與我們的大型光學(xué)平臺(tái)具有相同的高性能CleanTop結(jié)構(gòu)。 有三種性能級(jí)別以及一系列定制選項(xiàng)可供選擇。