Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺MAX603D，納米定位

Thorlabs的NanoMax™ 6軸納米定位撓性位移臺采用平行的撓性設(shè)計確保精確平滑的連續(xù)運動，摩擦幾乎可以忽略。對于復(fù)雜的多軸定位應(yīng)用，平行撓性位移臺將三個以上自由度集成在單個小型裝置中，明顯比按序堆疊位移臺的設(shè)計具有好的性能。非常適合光纖耦合系統(tǒng)，或需要亞微米分辨率的應(yīng)用。

同時我們提供帶或不帶預(yù)配置壓電驅(qū)動器（開環(huán)/閉環(huán)）、差分或步進電機驅(qū)動器的版本。位移臺的標稱載物臺高度為112.5 mm(4.43英寸)，匹配高度為112.5 mm的5軸位移臺套件。我們也提供轉(zhuǎn)接板，用于將3軸和4軸撓性位移臺的載物臺高度從62.5 mm提升到112.5 mm，從而兼容我們的NanoMax™6軸位移臺。

我們的6軸NanoMax位移臺作為功能*的納米定位工具還有2個創(chuàng)新點：一是公共旋轉(zhuǎn)支點，二是將所有調(diào)節(jié)器直接耦合到底座的專有設(shè)計，以盡量減少系統(tǒng)中不必要的運動。

公共旋轉(zhuǎn)點

如下圖所示，每個NanoMax 6軸位移臺在移動平臺前都有不銹鋼探針，標記所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點。所有旋轉(zhuǎn)軸具有公共支點，可以減少系統(tǒng)的對準時間，因為這樣在調(diào)整θx、θy和θz時不需要補償橫向運動。如果移動平臺開始平移，支點也會相對底座移動，保持支點和移動平臺的相對位置。

可拆下的不銹鋼探針頂部標記了所有旋轉(zhuǎn)軸的公共支點

點P是所有三個旋轉(zhuǎn)軸（偏轉(zhuǎn)、俯仰和擺動）的公共支點。

精密驅(qū)動

NanoMax™6軸位移臺提供預(yù)配置差分測微頭驅(qū)動器或步進電機驅(qū)動器的位移臺，即開即用。NanoMax 6軸位移臺的模塊化設(shè)計允許在任何時候拆卸和更換驅(qū)動器。驅(qū)動器都直接耦合到底座，以盡量減少系統(tǒng)中不必要的運動。這種特性非常適合需要亞微米級分辨率的應(yīng)用。對于納米定位應(yīng)用，我們有內(nèi)置壓電驅(qū)動器的版本包括開環(huán)和閉環(huán)。

壓電選項

開環(huán)或閉環(huán)的壓電選項讓這些位移臺實現(xiàn)納米級的分辨率。內(nèi)置于位移臺的壓電驅(qū)動器具有30 µm的行程，可使用多種開環(huán)或閉環(huán)壓電控制器控制。將這些位移臺與NanoTrak控制器(K-Cube、臺式或機架系統(tǒng)模塊)耦合時，系統(tǒng)具有*的自對準功能，能夠維持光通量，并消除由于熱漂移或其它外力引起的耦合效率損耗。這些壓電位移臺包含6根PAA100驅(qū)動電纜，在閉環(huán)系統(tǒng)的情況下，包含6根PAA622反饋變換器電纜。

具有開環(huán)壓電驅(qū)動器的位移臺沒有應(yīng)變儀位移傳感器，非常適合需要定位分辨率低至20 nm的應(yīng)用。帶閉環(huán)壓電驅(qū)動器的版本內(nèi)部有應(yīng)變儀位移傳感器，可提供與壓電元件的位移呈線性比例的反饋電壓信號。這種反饋信號將分辨率提高到5 nm，可用于補償所有壓電元件中固有的遲滯、蠕變和熱漂移，使這些位移臺成為需要納米級分辨率應(yīng)用的好的選擇。

請注意，壓電機制利用與測微計驅(qū)動器的接觸來移動頂部平臺。不管出于任何原因，如果位移臺在拆除測微計驅(qū)動器的情況下工作，必須在壓電驅(qū)動器運行之前安裝盲塞。

配件的簡易對準

我們提供多種配件來安裝產(chǎn)品，比如顯微物鏡、準直器、波導(dǎo)、光纖等更多產(chǎn)品。這些配件可以通過中心鍵槽在6軸位移臺的頂部平臺上輕的松實現(xiàn)對準。頂部平臺的中心鍵槽便于快速重新配置系統(tǒng)，同時還能在整個實驗中維持配件的對準。

Thorlabs NanoMax™ 6軸撓性位移臺MAX603D，納米定位

產(chǎn)品特性與參數(shù)

X軸和Z軸：1 N/µm

Y軸：0.5 N/µm

不帶驅(qū)動器

帶步進電機驅(qū)動器

帶差分驅(qū)動器