TMC主動壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

SEM-Base® VI是下一代STACIS主動壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更*的控制器和高級圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動水平。 

SEM-Base VI采用D特的“串行結(jié)構(gòu)"，其中的振動傳感器測量地面振動，而不是有效載荷振動。與其他設(shè)計(jì)不同，這確保了有效載荷共振不會限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動傳感器是低頻慣性速度傳感器，在難以測量的亞Hz范圍內(nèi)具有最大靈敏度。結(jié)合我們D特的壓電致動器技術(shù)，SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)J高的消振水平。 

SEM-Base VI可提供與以前型號平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器，為工具所有者和研究人員提供了一個非常簡單易用的圖形界面，可實(shí)現(xiàn)快速系統(tǒng)評估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI，無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外，用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動的液晶顯示器（LCD）與控制器連接。 

TMC主動壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開始主動減輕低頻地面振動。

主動慣性振動消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動衰減。 

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - D特的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的zhuo*yue慣性主動振動消除性能。

性能規(guī)格

設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

內(nèi)置控制器規(guī)格

應(yīng)用圖：